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PVD系统

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高真空溅镀系统CF-SP01 (X、Z)
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详情介绍

产品特色

．高沉积速度，好的镀膜均匀度

．可安装溅镀枪3支

．可通入多组气体

．可增加偏压

．容易操作和维护

．全自动及机台稳定性高

．可依照客户需求

．可搭配等离子光谱分析仪做等离子强度分析及控制


可应用范围

．LED产业

．太阳能产业

．半导体产业

．学术研究


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