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产品特色

．感应耦合高密度等离子系统（ICP System）

．等离子辅助化学气相沉积系统（PECVD）

．溅镀系统（Sputtering System）

．离子披覆系统（Ion-Plating System）

．电弧离子镀膜系统（Arc Ion-Plating System）

．化学气相沉积系统（CVD）

．热蒸镀系统（Thermal Evaporation）

．电子枪蒸镀系统（E-gun Evaporation ）


可应用范围

等离子处理系统如表面处理及表面改质

应用在各式镀膜如光学多层薄膜、超硬耐磨耗薄膜（DLC、TiN、TiC等）


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